天津聚对二甲苯涂层加工供应商 派瑞林涂层

聚对二甲苯成膜原理如下：固态环二体原理吸热升华，形成气态，在真空泵的抽力作用下，进入裂解炉，在690度左右下，环二体的两条C-C链断开，形成具有两个悬空键的游离基团，由于电子配对作用的吸引，具有两个游离基团的单分子聚合，形成线性高分子，聚合度可达5000左右。

聚对二甲苯涂层在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质，可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性，无微孔无缺陷，化学性质不活泼等优良特性。

聚对二甲苯(Poly-p-xylene)，商品名帕里纶(Parylene)，是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲撑苯撑结构的聚合物薄膜的统称，它有较其优良的电性能、耐热性、耐候性和化学稳定性

在MEMS应用中，聚对苯薄膜表现出一些非常有用的特性。这些特性包括：非常低的内应力、可以在室温下淀积、保角涂覆、化学惰性以及刻蚀选择性。聚对二甲苯膜用作电绝缘层、化学防护层、保护层和密封层是十分理想的。聚对二甲苯已用来做微流控沟道、阀门和传感器(加速度传感器，压力传感器，麦克风和切应力传感器)。通常采用控制二聚物的量来调控聚对二甲苯覆盖层的厚度。在原位探测聚对二甲苯厚度的监控器与末端探测器已经研制出来。