聚对二甲苯也叫帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称,它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质,可以生成数百微米内任何厚度的薄膜
制备聚对二甲苯膜的方法有多种:涂层法、真空气相沉积法、等离子增强化学气相沉积法、化学气相冷凝法。涂层法是单体溶解在**溶剂中,配成一定比例的溶液,通过浸涂、喷涂或旋涂等方法制备薄膜,采用催化剂或升温的方法聚合成聚对二甲苯膜。
气相沉积法:摩尔比的对二与水蒸气在高温下作用产生对二双自由基,然后导入90 °C左右的惰性溶剂中进行吸收、蒸发溶剂浓缩降温、结晶、过滤得对二二聚体([2.2]对环芳),精制后,将该二聚体进行高温裂解产生双自由基,再导入成膜室在成膜物体表面冷凝并迅速聚合,得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜。
聚对二甲苯成膜原理如下:固态环二体原理吸热升华,形成气态,在真空泵的抽力作用下,进入裂解炉,在690度左右下,环二体的两条C-C链断开,形成具有两个悬空键的游离基团,由于电子配对作用的吸引,具有两个游离基团的单分子聚合,形成线性高分子,聚合度可达5000左右。